[发明专利]一种真空环境中快速传送大型托盘的装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种真空环境中快速传送大型托盘的装置及其使用方法，包括面积大于1m2的石墨材料制成的托盘和用于将所述托盘在真空环境中进行传送的机械手臂，所述机械手臂的上表面设置有若干用于承载所述托盘的支撑件，其特征在于在所述支撑件和所述托盘之间设置有接触材料，所述支撑件通过所述接触材料来间接承载所述托盘。本发明通过在设置于机械手臂的支撑件与托盘之间增加接触材料的方法，增大托盘与支撑件之间的摩擦力，避免二者之间的相对运动，从而提高大型托盘在真空环境的传输速度。

主权项

一种真空环境中快速传送大型托盘的装置，包括：面积大于1m2的石墨材料制成的托盘和用于将所述托盘在真空环境中进行传送的机械手臂，所述机械手臂的上表面设置有若干用于承载所述托盘的支撑件，其特征在于：在所述支撑件和所述托盘之间设置有接触材料，所述支撑件通过所述接触材料来间接承载所述托盘，所述接触材料为所述托盘底表面处所镀的一层或者多层接触薄膜，所述接触薄膜为非晶硅薄膜、微晶硅薄膜、多晶硅薄膜、SiO2薄膜、SiC薄膜、或Si3N4薄膜中的一种或者多种，所述真空环境为PECVD覆膜腔。