[发明专利]基于象散法进行对焦的方法和相应的对焦系统

摘要

现有的象散法对焦中，出射光的光强可能在很大范围内变化，可能会使得对焦曲线的漂移过大而超出系统对焦容差。本发明提出了基于象散法进行对焦的方法和相应的对焦系统，该方法判断该出射光的光强是否处于一定范围内，该一定范围保持该象散法的对焦数据曲线的位置因检测光强变化而发生的漂移处于允许范围内；当该光强超出该一定范围时，调节该光源提供的该入射光的光强，使得该出射光的光强进入该一定范围内；当该光强处于该一定范围内时，根据该对焦数据在象散法的对焦数据曲线中的位置，进行对焦。本发明能够排除象散法使用过程中检测光强变化过大而对象散法自动对焦产生的不利影响，提高象散法的可靠性。

主权项

一种基于象散法进行对焦的方法，包括如下步骤：i.通过光源向待测器件提供入射光；ii.接收由该待测器件射出的出射光，并检测其光强，计算象散法的对焦数据；iii.根据该对焦数据在象散法的对焦数据曲线中的位置，进行对焦；前述步骤ii和iii重复进行直至满足对焦容差；其中，所述步骤ii还包括：a.判断该出射光的光强是否处于一定范围内，该一定范围保持该象散法的对焦数据曲线的位置因检测光强变化而发生的漂移处于允许范围内；b.当该光强超出该一定范围时，调节该光源提供的该入射光的光强，使得该出射光的光强进入该一定范围内；c.当该光强处于该一定范围内时，进行所述步骤iii；其中，所述步骤a、b和c在对焦进行至该对焦数据落入象散法的对焦数据曲线的线性区域内时进行。