[发明专利]铕铽掺杂钛砷酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件无效
| 申请号： | 201310196836.9 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN104178155A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;陈吉星;王平;张娟娟 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
| 主分类号： | C09K11/74 | 分类号： | C09K11/74;H01L33/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518100 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于光电材料领域，其公开了一种铕铽掺杂钛砷酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件；该发光薄膜的其化学通式为:MTi4-x-yAs6O24:xEu3+,yTb3+；其中，MTi4-x-yAs6O24是基质，Eu3+和Tb3+是激活光离子，为发光薄膜的发光中心，M为Ca,Ba或Sr元素，x的取值范围为0.01～0.05，y的取值范围为0.01～0.04。铕铽掺杂钛砷酸盐的发光薄膜，其电致发光谱（EL）中，在490nm和510nm位置有很强的发光峰。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 砷酸盐 发光 薄膜 及其 制备 方法 电致发光 器件 | ||
【主权项】：
一种铕铽掺杂钛砷酸盐的发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤:陶瓷靶材的制备:分别称取MO，TiO2，As2O5，Eu2O3和Tb4O7粉体，均匀混合后，在900～1300℃下烧结，制得陶瓷靶材，其中，MO，TiO2，As2O5，Eu2O3和Tb4O7的摩尔比为1:4‑x‑y:3:0.5x:0.25y；将制得的陶瓷靶材和ITO玻璃衬底装入镀膜设备的腔体中，密封腔体后，对腔体进行抽真空处理，控制腔体真空度为1.0×10‑3Pa～1.0×10‑5Pa；设置镀膜工艺参数:设置基靶间距为45～95mm，衬底温度为250℃～750℃，过程中通入流量为10～35sccm的氩气工作气体，工作压强为0.2～4Pa；待工艺参数设置完成后，进行镀膜处理，得到样品，随后将样品置于0.01Pa真空炉中500～800℃下退火处理1～3h；随后在ITO玻璃衬底的ITO层表面制得铕铽掺杂钛砷酸盐的发光薄膜，该发光薄膜的其化学通式为:MTi4‑x‑yAs6O24:xEu3+,yTb3+；其中，MTi4‑x‑yAs6O24是基质，Eu3+和Tb3+是激活光离子，为发光薄膜的发光中心，M选自Ca,Ba或Sr元素，x的取值范围为0.01～0.05，y的取值范围为0.01～0.04。
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