[发明专利]定位器环有效
| 申请号： | 201310198315.7 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103419124B | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | A.勒布曼;N.纳格尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 马永利,卢江 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了定位器环。提供一种用于结合化学机械抛光设备使用的定位器环，所述抛光被用来对衬底进行抛光。特别地，所述定位器环包括限定定位器区域的内表面；外表面；在内表面与外表面之间延伸的前表面，所述前表面在抛光期间与抛光垫接触；以及外表面与前表面之间的过渡区。还提供一种包括至少一个具有上述特征的环的CMP设备。 | ||
| 搜索关键词： | 定位器 | ||
【主权项】：
一种用于结合对衬底进行抛光的化学机械抛光设备使用的定位器环，所述定位器环包括：限定定位器区域的内表面；外表面；在所述内表面与所述外表面之间延伸的前表面，所述前表面在抛光期间与抛光垫接触；所述外表面与所述前表面之间的过渡区；其中所述前表面包含从内表面延伸到外表面的至少一个通道，其中所述通道的至少一个壁包含至少部分地沿着所述通道的长度且离所述内表面一段距离布置的第二过渡区；以及其中在第二过渡区内，在所述前表面和所述通道的至少一个壁之间的角度小于90度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310198315.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有调节装置的机器人臂
- 下一篇：钎焊、特别是感应钎焊的方法及组件
