[发明专利]一种显影液组成物有效
| 申请号： | 201310198744.4 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103293881A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 杨同华;吴洪江;黎敏;张继凯 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;李巍 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种显影液组成物。本发明的显影液组成物包括：以所述显影液组成物组合物的质量为100质量份，无机酸或有机酸0.01～5.0质量份，表面活性剂0.01～5.0质量份，溶于水的有机溶剂0.1～10.0质量份，水85～99质量份，以及添加剂0～2质量份。本发明的显影液组成物可以解决由于光阻颜料粒子微细化制备中添加碱性超分散剂而在碱性显影液组成物中难以显影的问题，因而可以满足良好的解析度及图案精细化的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 组成 | ||
【主权项】：
1.一种显影液组成物，包括：以所述显影液组成物的质量为100质量份，![]()
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