[发明专利]带凸缘的靶的制造方法无效
| 申请号： | 201310199061.0 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103422063A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 深沼博隆;佐藤伸一;榎本和马;宇井和也 | 申请（专利权）人： | 大同特殊钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够形成良好的薄膜并且耐久性优异的带凸缘的靶的制造方法。一种带凸缘的靶的制造方法，其为了能够使靶前表面朝向装置内部来安装该靶而在周围形成有凸缘部。该制造方法的特征在于，该制造方法包括：冷喷步骤（Sl、S2）：准备具有预定的成分组成的靶体，将在固相温度区域内加热了的金属粒子与气流一起喷涂到靶体的与应形成靶前表面的面成对的背面上，使金属粒子在背面上塑性变形的同时进行堆积，从而形成密封板部；以及机械加工步骤（S3）：通过进行机械加工而形成上述凸缘部。 | ||
| 搜索关键词： | 凸缘 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种带凸缘的靶的制造方法，其为了能够使靶前表面朝向装置内部来安装该靶而在周围形成有凸缘部，其特征在于，该制造方法包括：冷喷步骤：准备具有预定的成分组成的靶体，将在固相温度区域内加热了的金属粒子与气流一起喷涂到上述靶体的与应形成上述靶前表面的面成对的背面上，使上述金属粒子在上述背面上塑性变形的同时进行堆积，从而形成密封板部；以及机械加工步骤：通过进行机械加工而形成上述凸缘部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大同特殊钢株式会社，未经大同特殊钢株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310199061.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气水分离装置及清洁设备
- 下一篇：一种拉丝机过滤网清洁系统
- 同类专利
- 专利分类
