[发明专利]加速度传感器

摘要

本发明公开了一种加速度传感器，包括基座、弹性片、磁铁、磁传感器及至少两个导电焊针，所述磁传感器由磁敏感薄膜构成，其中，所述基座呈中空结构，所述基座的中空结构形成容置腔，所述弹性片呈薄板状并支撑于所述基座上，所述磁铁或所述磁传感器安装于所述弹性片上，且所述磁铁与所述磁传感器对应安装，所述弹性片振动从而使所述磁铁与所述磁传感器产生相对运动，使所述磁传感器感应所述磁铁产生的磁场变化而输出差分电势；弹性片呈薄板状，共振频率低，且振动过程中不易变形扭曲，因此精度高，而整个加速度传感器的结构简单，装配方便，且生产成本低。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于：包括基座、弹性片、磁铁、磁传感器及至少两个导电焊针，所述磁传感器由磁敏感薄膜构成，其中，所述基座呈中空结构，所述基座的中空结构形成容置腔，所述弹性片呈薄板状并支撑于所述基座上，所述磁铁或所述磁传感器安装于所述弹性片上，且所述磁铁与所述磁传感器对应安装，所述弹性片振动从而使所述磁铁与所述磁传感器产生相对运动，使所述磁传感器感应所述磁铁产生的磁场变化而输出差分电势；所述弹性片的边缘处具有呈环形结构的支撑部，所述支撑部内相间隔地设置有至少两个分振动单元，且每一所述分振动单元与所述支撑部之间设有至少一个支撑桥，所述分振动单元及对应的所述支撑桥沿所述弹性片的中心处均匀分布，所述磁铁或所述磁传感器安装于其中一所述分振动单元上；所述分振动单元的边缘形成外沿活动部，所述分振动单元的中心处具有中心活动部，所述外沿活动部与所述中心活动部之间设置有多个弹性臂，所述中心活动部、弹性臂及外沿活动部之间均具有一定的间隙，所述间隙中均分布有连接臂以连接相邻的中心活动部、弹性臂及外沿活动部。