[发明专利]分散板及具有该分散板的镀膜装置有效
| 申请号： | 201310199717.9 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103266310A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 许修齐;钟尚骅 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种分散板及具有该分散板的镀膜装置，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。本发明可以减少分散板变形，改善气体分布，增加上电极装置内的气体分布稳定性，进而能够提高镀膜装置的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 散板 具有 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种分散板，用于镀膜装置，其中，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司，未经上海和辉光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310199717.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有机肥料及其生产方法
- 下一篇：无方向性电磁钢板的制造方法
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
