[发明专利]一种单晶炉的加料方法无效
| 申请号： | 201310200286.3 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103334152A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 方中期;汪国锋 | 申请（专利权）人： | 开化县同欣硅业有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 陈继亮 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉的加料方法，该方法包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。采用本发明，由于每炉可拉二根晶棒，不仅节省能耗，而且提高了坩埚等材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 加料 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的加料方法，其特征在于它包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。
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