[发明专利]一种可实现宽频率范围调谐的片上可变电感无效
申请号: | 201310200688.3 | 申请日: | 2013-05-27 |
公开(公告)号: | CN103325793A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 李巍;朱宁 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/522 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种用标准集成电路工艺设计,可实现宽频率范围调谐的片上可变电感。该可变电感基于互感的基本原理,由五个电感L1~L5组成,每一个电感由最高层的金属互连线实现。采用晶体管M1~M3作为开关,控制电感L2~L5中电流的通断,从而改变主线圈L1中的等效电感值。线圈L3和L4作为同一个电感使用,采用相同的晶体管M2控制,以保持可变电感的对称性。通过对可变电感的性能仿真、原理分析,以及电路实验论证,说明本发明提出的可变电感具有品质因素高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 宽频 范围 调谐 可变 电感 | ||
【主权项】:
一种用标准集成电路工艺设计,可实现宽频率范围调谐的片上可变电感,其特征在于:采用八层金属互连线的标准CMOS层次关系,不同金属层通过通孔连接,具体由五个电感线圈L1~L5组成,其中,L1为主线圈,L2~L5为次级线圈;每一个电感线圈由最高层金属N8的金属互连线实现,其中,在主线圈L1的中点,通过通孔VIA7将第七层金属N7和第八层金属N8相连,将主线圈L1的中点利用金属层N7引出作为中心抽头;电感线圈L2位于主线圈L1的内部,电感线圈L3和电感线圈L4分别位于主线圈L1的左边和右边,电感线圈L5位于主线圈L1的前边;采用晶体管M1~M3作为开关,由晶体管M1控制电感线圈L2电流的通断,由晶体管M3控制电感线圈L5电流的通断,由晶体管M2控制电感线圈L3、L4中电流的通断,从而改变主线圈L1中的等效电感值;其中,电感线圈L3和电感线圈L4作为同一个电感线圈使用,采用相同的晶体管M2控制,以保持可变电感的对称性;次级线圈L2~L5的两端通过过孔和晶体管M1~M3的源漏在金属层N1相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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