[发明专利]一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310201135.X | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103302917A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 欧阳俊;王现洋;冯君校 | 申请（专利权）人： | 欧阳俊 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B15/04;F24J2/48;C23C14/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 崔苗苗 |
| 地址： | 250061 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次为Ti膜红外反射层、TiON膜第一吸收亚层、TiON膜第二吸收亚层、SixNy膜减反层，先通氩气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，以Ti为靶材直流溅射，再注入流量为5-9sccm的氮气和流量为1-4sccm的氧气溅射，然后调整氮气流量为9-15sccm、氧气流量3-5sccm溅射，最后使基材正对Si靶材调节氮气流量至15-25sccm、氧气流量至0sccm溅射。本发明所制备的太阳能选择性光热吸收涂层耐候性好，可用于制备平板太阳能集热板芯，应用前景良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸收 tion 耐候性 光热 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种双吸收层TiON耐候性光热涂层，其特征是，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次为Ti膜红外反射层、TiON膜第一吸收亚层、TiON膜第二吸收亚层、SixNy膜减反层，Ti膜红外反射层控制在50‑100nm，TiON膜第一吸收亚层厚度控制在50‑150nm，TiON膜第二吸收亚层厚度控制在50‑150nm，SixNy膜减反层厚度控制在20‑60nm。
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