[发明专利]具有复合透明导电层的发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201310201452.1 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103325913B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘洪刚;郭浩 | 申请（专利权）人： | 江苏晶瑞半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/42 | 分类号： | H01L33/42 |
| 代理公司： | 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙)11382 | 代理人： | 苗青盛,王凤华 |
| 地址： | 213314 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有复合透明导电层的发光二极管及其制备方法，该发光二极管包括三族氮化物外延层、复合透明导电层、透明钝化层以及金属电极。复合透明导电层位于三族氮化物外延层与透明钝化层之间，并且由高价金属原子掺杂的氧化钛层与氧化铟锡层组成，所述掺杂氧化钛层形成于三族氮化物外延层上，氧化铟锡层覆盖在掺杂氧化钛层上并与掺杂氧化钛层形成凸凹镶嵌的复合多层结构。本发明公开的具有复合透明导电层的发光二极管能有效消除三族氮化物与透明导电层界面处的全反射，大幅度提高发光器件的光提取效率，并且具有工艺简单、低成本等优势，在超高亮度发光二极管制造领域应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 复合 透明 导电 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种发光二极管，包括三族氮化物外延层(101，102，103，104)、复合透明导电层(105，106)、透明钝化层(107)以及金属电极(108，109)，其中：所述复合透明导电层位于所述三族氮化物外延层与所述透明钝化层之间；所述复合透明导电层由高价金属原子掺杂的氧化钛层(TiO2:Mx+)(105)与氧化铟锡层(ITO，In2O3:Sn)(106)组成；所述掺杂氧化钛层(105)形成于所述三族氮化物外延层上，所述氧化铟锡层(106)覆盖在所述掺杂氧化钛层(105)上并与所述掺杂氧化钛层形成凸凹镶嵌的复合多层结构；所述掺杂氧化钛层(105)和所述氧化铟锡层(106)在空间上呈周期性排列，构成二维光子晶体结构；以及所述透明钝化层(107)为具有1.7的折射率以及200纳米的厚度的氮氧化硅钝化层。
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