[发明专利]分子泵抽速测试仪

摘要

本发明公开了一种分子泵抽速测试仪，包括测试罩和控制器，在所述测试罩上连接有气瓶，所述气瓶向所述测试罩内提供测试气体，在所述气瓶和测试罩之间设有流量控制单元，用于控制并检测由所述气瓶流向所述测试罩内的测试气体的流量，所述流量控制单元由所述控制器控制，在测试罩上还连接有真空计，所述真空计用于监测所述测试罩内的压力数据，所述真空计监测的压力和所述流量控制单元监测的流量分别传输给所述控制器，所述控制器根据所述压力数据和流量数据计算出抽速。本发明具有测试精度高、重复性好、操作简便等优点；使测试效率大大提高。

主权项

一种分子泵抽速测试仪，包括测试罩和控制器，其特征在于，在所述测试罩上连接有气瓶，所述气瓶向所述测试罩内提供测试气体，在所述气瓶和测试罩之间设有流量控制单元，用于控制并检测由所述气瓶流向所述测试罩内的测试气体的流量，所述流量控制单元由所述控制器控制，在测试罩上还连接有真空计，所述真空计用于监测所述测试罩内的压力数据，所述真空计监测的压力和所述流量控制单元监测的流量分别传输给所述控制器，所述控制器根据所述压力数据和流量数据计算出抽速；所述流量控制单元包括至少一条流量控制管线，所述流量控制管线包括串联的流量控制器和截止阀；所述流量控制单元还包括与流量控制管线并联的充气管线；所述测试罩为圆筒形真空容器，所述测试罩的直径为D，所述测试罩的高度为1.5D，所述测试罩的底部设有法兰；所述测试罩上距法兰平面0.5D高度处对称分布两个管路，一个管路连接流量控制单元，另一个管路连接真空计；其中，连接流量控制单元的管路在测试罩内向上弯折90°，所述连接流量控制单元的管路的开口圆心位于所述测试罩的轴线上，所述连接流量控制单元的管路的开口平面与所述测试罩的法兰平面的距离为D。