[发明专利]具有点胶功能的工件传输装置在审
| 申请号： | 201310203892.0 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104174546A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 郎平;潘峰;郝术壮;周启舟;唐亮 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有点胶功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行点胶处理的点胶组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行点胶处理，能够减少工件传递和点胶处理的时间消耗，提高工件处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 有点 功能 工件 传输 装置 | ||
【主权项】：
一种具有点胶功能的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，其特征在于，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行点胶处理的点胶组件。
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