[发明专利]具有位置对准功能的工件传输装置

摘要

本发明提供一种具有位置对准功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行位置对准处理的位置对准组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行位置对准处理，能够减少工件传递和位置对准处理的时间消耗，提高工件处理效率。

主权项

一种具有位置对准功能的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，其特征在于，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行位置对准处理的位置对准组件；所述传动组件包括：设置在所述支撑组件上的导轨；设置在所述导轨上、能够沿所述导轨滑动的滑块；固定在所述滑块上、用于承载所述工件的工件支具；所述位置对准组件包括但不限于：设置在所述导轨上方的对准组件立柱；通过旋转轴安装在所述对准组件立柱上的对准夹具座；与所述对准夹具座滑动连接的两个相对的对准夹具，所述两个对准夹具相对运动时可以夹住工件以对工件位置进行调整。