[发明专利]化学气相沉积设备中实时测量衬底翘曲的方法及装置有效
| 申请号： | 201310204679.1 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104180765B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 甘志银;甘志强;胡少林 | 申请（专利权）人： | 甘志银 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 李平 |
| 地址： | 528251 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学气相沉积设备中实时测量衬底翘曲的方法及装置。该测量方法包含以下步骤用分波前的方法将一束激光分成几个相干光源照射衬底表面，用图像传感器测量衬底反射的衍射干涉图样形状，对比有翘曲和无翘曲时的衍射干涉图样形状计算衬底翘曲。使用该方法的测量装置由光源、图案挡光板、能量分光镜、承载盘、图像传感器、信号处理单元组成。本发明的优点是测量装置结构紧凑简单，能够实时快速检测外延片的局部翘曲，能够避免承载盘倾斜或者抖动造成的影响，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 设备 实时 测量 衬底 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种化学气相沉积设备中实时测量衬底翘曲的测量装置，该装置由光源(1)、图案挡光板(2)、能量分光镜(3)、承载盘(5)、图像传感器(6)、信号处理单元(7)组成，其特征在于：在光源(1)的前方设有图案挡光板(2)，能量分光镜(3)设在图案挡光板(2)和承载盘(5)之间，光源(1)发出光束(8)垂直照射图案挡光板(2)，然后入射到能量分光镜(3)，产生透射光束(9)，衬底片(4)平放在承载盘(5)表面，透射光束(9)被衬底片(4)反射回到能量分光镜(3)产生反射光束(11)，在能量分光镜(3)的一侧反射光束(11)的传播方向上设有图像传感器(6)，图像传感器(6)的光敏面垂直于反射光束(11)的传播方向，图像传感器(6)的输出端与信号处理单元(7)相连，所述的图案挡光板(2)为设有镂空图案的金属板或者有图案镀膜的玻璃板或者不透光材料构成的带镂空图案的平板。
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