[发明专利]涂布装置有效

专利信息
申请号: 201310205694.8 申请日: 2013-05-29
公开(公告)号: CN103447193A 公开(公告)日: 2013-12-18
发明(设计)人: 村岸勇夫;土田修三;参川茂;堀川晃宏;广田修 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: B05C5/00 分类号: B05C5/00;B05C11/02;B05C13/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 穆德骏;谢丽娜
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于提供一种涂布装置,以容易地将涂布液高精度且均匀地涂布于具有翘曲或起伏的基板上。设置在通过棒(109)将被供给至基板(103)上的涂布液(104)拉伸时按压基板(103)的机构(116),控制拉伸区域的基板(103)的形状,由此能够容易地在具有翘曲或凹凸的大型基板(103)上高精度且均匀地涂布涂布液(104)。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
一种涂布装置,其特征在于,由以下部件构成:载物台,载置基板;供给部,将涂布液供给至所述基板上;棒,沿一定方向在所述基板上移动而拉伸所述涂布液;第一按压棒,将所述基板的所述移动方向的一侧的端部按压至所述载物台;第二按压棒,将所述基板的另一侧的端部按压至所述载物台;及棒状的固定受压部,在所述载物台上配置于所述基板的下部并平行于所述第一按压棒。
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