[发明专利]一种提高III-V族化合物电子器件散热性的方法有效

专利信息
申请号: 201310205855.3 申请日: 2013-05-29
公开(公告)号: CN103258863A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 叶继春;刘凤全 申请(专利权)人: 苏州强明光电有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/052
代理公司: 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 代理人: 孙高
地址: 215612 江苏省苏州市张家港市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种提高III-V族化合物电子器件散热性的方法,该电子器件包括活性层、设置于活性层正面的金属电极以及设置于活性层背面的背衬层,该背衬层包括金属层和聚合物层,金属层与活性层背面连接,聚合物层粘结于金属层表面;该方法包括以下步骤:a.在活性层的正面粘贴临时转移层,该临时转移层覆盖金属电极和活性层;b.去除聚合物层;c.在金属层上粘结导热支撑层;d.移除临时转移层。该方法在保证电子器件完整性的情况下有效地去除背衬层中的聚合物层,并粘贴导热的支撑层,从而提高此类电子器件的散热性。
搜索关键词: 一种 提高 iii 化合物 电子器件 散热 方法
【主权项】:
一种提高III‑V族化合物电子器件散热性的方法,该电子器件包括活性层、设置于活性层正面的金属电极以及设置于活性层背面的背衬层,该背衬层包括金属层和聚合物层,金属层与活性层背面连接,聚合物层粘结于金属层表面;该方法包括以下步骤:a.在活性层的正面粘贴临时转移层,该临时转移层覆盖金属电极和活性层;b.去除聚合物层;c.在金属层上粘结导热支撑层;d.移除临时转移层。
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