[发明专利]一种基于自动控制电动平移台的平面二维矩形扫描装置及其扫描方法

摘要

一种基于自动控制电动平移台的平面二维矩形扫描装置及其扫描方法，涉及电动平移台自动控制和电动平移台扫描领域。解决了显微镜在平面上进行扫描样本时，传统的人为操作无法完成局部扫描区域内精确定位的问题。该装置包括上位计算机和显微镜电动平移台；它还包括控制系统，控制系统与上位计算机通过RS232串行通讯口进行连接，控制系统的控制信号输出端与显微镜电动平移台的移动信号输入端连接；该装置的扫描方法由以下步骤实现：首先确定扫描区域位置，确定扫描原点；然后上位机通过控制系统控制显微镜电动平移台使其完成矩形扫描过程。本发明适用于对大范围和纳米级的小范围进行局部扫描。

主权项

一种基于自动控制电动平移台的平面二维矩形扫描装置，它包括：上位计算机（1）和显微镜电动平移台（4）；其特征在于，它还包括控制系统（3），控制系统（3）与上位计算机（1）通过RS232串行通讯接口（2）进行连接，控制系统（3）的控制信号输出端与显微镜电动平移台（4）的移动信号输入端连接；所述上位计算机（1）内嵌入有控制模块，该控制模块包括：用于将上位计算机（1）的控制命令发送给控制系统（3）的控制命令发送模块；用于对控制系统（3）发送的应答信息进行接收的应答信息接收模块；用于对显微镜电动平移台（4）的扫描参数进行设置的扫描参数设置模块；用于输入扫描原点（X1，Y1）的扫描原点输入模块；用于输入扫描原点对顶角坐标（X2，Y2）从而确定扫描区域大小的扫描区域设置模块；所述控制系统（3）内嵌入有控制模块，该控制模块包括：用于对上位计算机（1）发送的控制命令进行接收的控制命令接收模块；用于将控制系统（3）的应答信息发送给上位计算机（1）的应答信息发送模块；用于将显微镜电动平移台（4）进行左右移动的X轴方向步进模块；用于将显微镜电动平移台（4）进行向前移动的Y轴方向步进模块；用于将显微镜电动平移台（4）返回初始位置的返回初始位置模块。