[发明专利]减能结构有效
申请号: | 201310206597.0 | 申请日: | 2013-05-29 |
公开(公告)号: | CN103855101B | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 钱睿宏;龙巧玲 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/24 | 分类号: | H01L23/24 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种减能结构。此减能结构包括减能主体、至少一第一减能基底及至少一第二减能基底。减能主体具有彼此相对的上表面及下表面。第一减能基底设置于减能主体的上表面上。第二减能基底设置于减能主体的下表面上。其中,至少一第一减能基底与至少一第二减能基底的互相交错。 | ||
搜索关键词: | 结构 | ||
【主权项】:
一种减能结构,适用于具有玻璃中介层的三维集成电路的结构中,包括:减能主体,具有彼此相对的上表面及下表面;至少一第一减能基底,设置于该减能主体的该上表面上;以及至少一第二减能基底,设置于该减能主体的该下表面上,其中该至少一第一减能基底与该至少一第二减能基底互相交错,其中当该至少一第一减能基底的数量为多个时,该些第一减能基底彼此之间互相交错。
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