[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的制备方法有效
| 申请号： | 201310206973.6 | 申请日： | 2013-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN103311386A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 张化宇;汪桂根;崔林;韩杰才 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 刘显扬;黄晓笛 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括如下几个步骤：步骤A:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜；步骤B:在金属铝膜上施涂光刻胶膜，烘干;步骤C:进行激光干涉曝光、显影，获得光刻胶图形；步骤D:以金属铝膜上图形化光刻胶为掩膜，采用反应离子刻蚀金属铝膜和去胶，在蓝宝石基片上获得金属铝膜凸台的图形化金属铝膜；步骤E:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤F:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，使图形化多晶Al2O3膜完全转化为图形化单晶Al2O3膜，即得到图形化蓝宝石衬底。本发明的图形化蓝宝石衬底的制备方法，工艺简单易行，成本低，面积大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括如下几个步骤：步骤A: 在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜；步骤B: 在金属铝膜上施涂光刻胶膜，烘干;步骤C: 进行激光干涉曝光、显影，获得光刻胶图形；步骤D: 以金属铝膜上图形化光刻胶为掩膜，采用反应离子刻蚀金属铝膜和去胶，在蓝宝石基片上获得金属铝膜凸台的图形化金属铝膜；步骤E:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤F:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，使图形化多晶Al2O3膜完全转化为图形化单晶Al2O3膜，即得到图形化蓝宝石衬底。
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