[发明专利]天线集成石墨烯PIN结太赫兹探测器

摘要

本发明公开了一种天线集成石墨烯PIN结太赫兹探测器，属于半导体器件领域。本发明包括衬底、设于衬底上的平面天线和石墨烯PIN结，所述平面天线与石墨烯PIN结之间设有空隙；在所述石墨烯PIN结的P区和N区设有第一欧姆接触电极和第二欧姆接触电极。与现有的太赫兹探测器，本发明制成的探测器的探测范围可以覆盖整个太赫兹频段，且响应速度快，约为皮秒量级，同时，本发明探测器成本低廉，制作工艺简单，因此，大大提高了太赫兹探测器的性能；同时，此探测器还可在室温工作正行工作，克服了现有探测器需要低温工作的缺陷，提高了其适应性；由于探测器集成了平面天线，还提高了对弱太赫兹信号的探测能力。

主权项

一种天线集成石墨烯PIN结太赫兹探测器，其特征在于包括衬底（4）、设于衬底（4）上的平面天线（3）和石墨烯PIN结，所述平面天线（3）与石墨烯PIN结之间设有空隙；在所述石墨烯PIN结的P区（2）和N区（7）设有第一欧姆接触电极（1）和第二欧姆接触电极（6）。