[发明专利]点阵结构的声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201310210349.3 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103296994B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李强 | 申请（专利权）人： | 中科微声（天津）传感技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区华苑产业区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明点阵结构的声表面波谐振器，包括压电基片，压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，金属叉指换能器两侧设置金属栅阵，金属栅阵包括设置在金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，第一开路栅和第二开路栅在金属叉指换能器左右两侧对称分布；第一开路栅和第二开路栅构成的金属栅阵在y方向上平行设置、在x方向上垂直设置并且在x方向上周期性分布；在金属叉指换能器上设置声子晶体，声子晶体在x方向上周期性分布，声子晶体在y方向上随机分布。本发明消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 点阵 结构 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
点阵结构的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，所述金属叉指换能器两侧设置金属栅阵，所述金属栅阵包括设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅构成的金属栅阵在y方向上平行设置、在x方向上垂直设置并且在x方向上周期性分布；在所述金属叉指换能器上设置声子晶体，所述声子晶体在x方向上周期性分布，所述声子晶体在y方向上随机分布；所述声子晶体是材料为铝的金属点阵，所述金属叉指换能器的每个叉指上设置一个铝的晶格，x方向晶格的周期同金属叉指换能器的金属指条周期相同；所述金属叉指换能器的厚度为2000埃；所述金属叉指换能器的金属指条周期λ为9.86微米，共219根指条，孔径大小为32λ。
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