[发明专利]带有薄膜传感器的构件及制备方法有效
申请号: | 201310213395.9 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103486961A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 刘兴钊;蒋洪川;蒋书文;张万里;李言荣 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01L1/20 |
代理公司: | 成都惠迪专利事务所 51215 | 代理人: | 刘勋 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 带有薄膜传感器的构件,属于材料及传感技术领域。本发明的所述薄膜传感器以沉积或涂覆的形式设置在构件表面。本发明的有益效果是,能够适应各种复杂曲面构件表面薄膜传感器的制造,传感器器件具有良好的附着力,并对传感器有可靠的防护,所制造薄膜传感器的长时间工作稳定性好。 | ||
搜索关键词: | 带有 薄膜 传感器 构件 制备 方法 | ||
【主权项】:
带有薄膜传感器的构件,其特征在于,所述薄膜传感器以沉积或涂覆的形式设置在构件表面。
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