[发明专利]用于软X射线-极紫外多层膜元件反射率测量的转动机构有效
| 申请号： | 201310213404.4 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103323430A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘世界;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于软X射线-极紫外多层膜元件反射率测量的转动机构，属于空间光学技术领域，为解决现有技术存在的问题，该机构样品架主动齿轮支承轴、从动齿轮支承轴和探测器主动齿轮支承轴固定在真空室内；探测器齿轮驱动杆通过连接架与探测器主动齿轮连接；探测器主动齿轮与探测器主动齿轮支承轴连接；探测器从动齿轮与从动齿轮支承轴上半部分连接与探测器主动齿轮啮合；光电转换探测器固在探测器从动齿轮上；样品架齿轮驱动杆通过连接架与样品架主动齿轮连接；样品架主动齿轮与样品架主动齿轮支承轴连接与样品架从动齿轮啮合；样品架从动齿轮与从动齿轮支承轴下半部分连接；光学元件样品架固定在样品架从动齿轮上；入光口连接法兰设置在真空室一端。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 射线 紫外 多层 元件 反射率 测量 转动 机构 | ||
【主权项】：
用于软X射线‑极紫外多层膜元件反射率测量的转动机构，其特征是，包括：探测器主动齿轮（1）、探测器从动齿轮（2）、光学元件样品架（3）、样品架从动齿轮（4）、样品架主动齿轮（5）、光电转换探测器（6）、样品架齿轮驱动杆（7）、探测器齿轮驱动杆（8）、真空室（9）、入光口连接法兰（10）、样品架主动齿轮支承轴（11）、从动齿轮支承轴（12）、探测器主动齿轮支承轴（13）和两个连接架（14）；探测器齿轮驱动杆（8）通过连接架（14）与探测器主动齿轮（1）连接；探测器主动齿轮（1）与探测器主动齿轮支承轴（13）连接；探测器从动齿轮（2）与从动齿轮支承轴（12）的下半部分连接，且与探测器主动齿轮（1）啮合；光电转换探测器（6）固在探测器从动齿轮（2）上；样品架齿轮驱动杆（7）通过连接架（14）与样品架主动齿轮（5）连接；样品架主动齿轮（5）与样品架主动齿轮支承轴（11）连接，且与样品架从动齿轮（4）啮合；样品架从动齿轮（4）与从动齿轮支承轴（12）的上半部分连接；光学元件样品架（3）固定在样品架从动齿轮（4）上；入光口连接法兰（10）设置在真空室（9）的一端。
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