[发明专利]一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201310215286.0 申请日: 2013-06-03
公开(公告)号: CN103296141A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 黄胜利;杨倩倩;李书平;康俊勇 申请(专利权)人: 厦门大学;浙江大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;B01J23/06;B01J35/06
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法,涉及一种纳米线阵列结构材料的制备方法。一个制备Si纳米线阵列的步骤;一个沉积ZnO薄膜的步骤;一个制备ZnO纳米线的步骤。应用一种低成本的方法制备了枝状结构Si/ZnO纳米线阵列。首先在室温条件下用金属辅助化学刻蚀法在Si衬底上制备了Si纳米线阵列,Si纳米线的直径尺寸及分布都比较均匀;然后利用水热法在Si纳米线的表面生长了ZnO纳米线,得到了枝形结构的Si/ZnO纳米线阵列。与现有的纳米材料相比,该结构材料拥有异质结界面,可通过改变材料成分调节能带结构,并且枝状结构增加了样品的曲率效应和表面积,非常适用于太阳能电池及光催化领域。
搜索关键词: 一种 枝状异质结 纳米 阵列 结构 材料 制备 方法
【主权项】:
一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)一个制备Si纳米线阵列的步骤;2)一个沉积ZnO薄膜的步骤;3)一个制备ZnO纳米线的步骤。
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