[发明专利]一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法有效
申请号: | 201310215286.0 | 申请日: | 2013-06-03 |
公开(公告)号: | CN103296141A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 黄胜利;杨倩倩;李书平;康俊勇 | 申请(专利权)人: | 厦门大学;浙江大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B01J23/06;B01J35/06 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人: | 马应森 |
地址: | 361005 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法,涉及一种纳米线阵列结构材料的制备方法。一个制备Si纳米线阵列的步骤;一个沉积ZnO薄膜的步骤;一个制备ZnO纳米线的步骤。应用一种低成本的方法制备了枝状结构Si/ZnO纳米线阵列。首先在室温条件下用金属辅助化学刻蚀法在Si衬底上制备了Si纳米线阵列,Si纳米线的直径尺寸及分布都比较均匀;然后利用水热法在Si纳米线的表面生长了ZnO纳米线,得到了枝形结构的Si/ZnO纳米线阵列。与现有的纳米材料相比,该结构材料拥有异质结界面,可通过改变材料成分调节能带结构,并且枝状结构增加了样品的曲率效应和表面积,非常适用于太阳能电池及光催化领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 枝状异质结 纳米 阵列 结构 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种枝状异质结纳米线阵列结构材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)一个制备Si纳米线阵列的步骤;2)一个沉积ZnO薄膜的步骤;3)一个制备ZnO纳米线的步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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