[发明专利]化学气相沉积中衬底温度的控制方法

摘要

本发明涉及一种化学气相中沉积衬底温度的控制方法，所述控制方法用于对稳定时间段的所述衬底温度进行控制，在所述稳定时间段内所述衬底温度处于相对稳定状态且其波动幅度不超过一允许温度值T，所述控制方法包括在所述时间段内，调节加热单元的温度在初始时刻t得到一稳定值Tsp1，同时获得一个所述衬底温度的初始测量值Ts1，在改变反应条件后，获得所述衬底温度在下一时刻t+Δt的新测量值Ts2，并由所述Ts1，所述Ts2和所述Tsp1计算得到所述下一时刻的所述稳定值Tsp2。本发明避免了因所述衬底温度的测量误差引起的无法对所述衬底温度进行精确控制的问题，能够对时间段的衬底温度进行精确可靠的控制。

主权项

一种化学气相沉积中衬底温度的控制方法，所述控制方法用于对稳定时间段的所述衬底温度进行控制，在所述稳定时间段内所述衬底温度处于相对稳定状态且其波动幅度不超过一允许温度值T，其特征在于，所述控制方法包括：S1.提供反应气体氛围、衬底、加热单元、第一测温装置、第二测温装置和温度控制装置，所述加热单元用于对所述衬底加热，所述第一、第二测温装置分别用于测量第一温度和第二温度，所述第一温度为所述加热单元的温度，所述第二温度为所述衬底表面的温度，所述温度控制装置用于计算和调节所述第一温度；S2.在所述稳定时间段内，调节所述第一温度在初始时刻t得到一稳定值Tsp1，在所述初始时刻，获得一个所述第二温度的初始测量值Ts1；S3.设置一时间段数值Δt，所述Δt小于所述稳定时间段的1/2；S4.改变反应条件；S5.在下一时刻t+Δt获得所述下一时刻所述第二温度的新测量值Ts2，且所述Ts2与所述Ts1差值的绝对值大于或等于所述允许温度值T时，计算所述下一时刻第一温度的所述稳定值Tsp2，其算法为Tsp2＝Tsp1‑f(Ts2‑Ts1)，所述f(Ts2‑Ts1)为所述新测量值和所述初始测量值的差Ts2‑Ts1的函数；S6.调节所述第一温度至所述稳定值Tsp2；S7.重复S5‑S6，直到第二温度在Δt内的差值的绝对值小于所述允许温度值T。