[发明专利]清洁基板的设备和方法有效
| 申请号： | 201310215581.6 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103447256A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李龙熙;李福圭;崔从洙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 韩国忠淸南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洁基板的设备和方法。所述设备包括：基板支撑单元，其用于支撑基板；容器，其环绕所述基板支撑单元且收集从所述基板洒出的有机溶剂；流体供应单元，其设在所述容器的一侧并向所述基板上喷洒带气泡的液体有机溶剂。所述流体供应单元包括：喷嘴头，将所述有机溶剂喷喷到所述基板上；有机溶剂供应线，从有机溶剂贮槽向所述喷嘴头提供所述有机溶剂；气泡供应元件，设在所述有机溶剂供应线上并向所述液体有机溶剂提供气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种基板清洁设备，包括：基板支撑单元，其用于支撑基板；容器，其环绕所述基板支撑单元且从所述基板收集洒出的有机溶剂；流体供应单元，其设在所述容器的一侧并向所述基板喷洒带气泡的液体有机溶剂。
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