[发明专利]硅片转速测定装置及其测定方法无效
| 申请号： | 201310217685.0 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN103341457A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王哲;文静;左威;张传民;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硅片转速测定装置，包括：支撑体，用于设置所述硅片转速测定装置的功能部件；清洗毛刷，呈轴状，并活动设置在所述支撑体的承载臂上；主动轮，设置在与所述支撑体之底板固定连接的支撑板上，且所述主动轮通过设置在所述支撑体上的传动装置带动旋转；以及镭射光探测装置，进一步包括呈面向设置的镭射光发生器和镭射光接收器，所述镭射光探测装置设置在所述主动轮之间，且位于所述主动轮与所述硅片形成弧上。本发明通过将所述镭射光探测装置设置在所述主动轮之间，且位于所述主动轮与所述硅片形成弧上，可进行累积计数，精确测量硅片清洗速度，及时反馈至机台，并对清洗过程进行严格控制，从而达到最佳清洗效果，保证所述硅片的电性良好。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 转速 测定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片转速测定装置，其特征在于，所述硅片转速测定装置包括：支撑体，所述支撑体具有呈面向设置的承载臂，所述支撑体用于设置所述硅片转速测定装置的功能部件；清洗毛刷，所述清洗毛刷呈轴状，所述清洗毛刷的两端并活动设置在所述支撑体的承载臂上；主动轮，所述主动轮设置在与所述支撑体之底板固定连接的支撑板上，且所述主动轮通过设置在所述支撑体上的传动装置带动旋转；以及，镭射光探测装置，所述镭射光探测装置进一步包括呈面向设置的镭射光发生器和镭射光接收器，所述镭射光探测装置设置在所述主动轮之间，且位于所述主动轮与所述硅片形成弧上。
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