[发明专利]结合有多种栅叠层组成的电路

摘要

本发明公开了一种具有多个不同器件栅极结构的集成电路和用于制造该电路的方法。形成该电路的示例性实施例包括接收具有第一器件区、第二器件区和第三器件区的衬底。在第一器件区、第二器件区以及第三器件区中的每一个的至少一部分上方形成第一界面层。第一界面层被图案化，以在第三器件区内限定栅叠层。在第二器件区的至少一部分上方形成第二界面层。第二界面层被图案化，以在第二器件区内限定栅叠层。在第一器件区的至少一部分上方形成第三界面层。第三界面层在第一器件区内限定栅叠层。本发明还提供了结合有多种栅叠层组成的电路。

主权项

一种形成集成电路的方法，所述方法包括：接收具有第一器件区、第二器件区和第三器件区的衬底；在所述第一器件区、所述第二器件区以及所述第三器件区中的每一个的至少一部分上方均形成第一界面层；图案化所述第一界面层，所述第一界面层的图案化在所述第三器件区内限定第一栅叠层；在所述第二器件区的至少一部分上方形成第二界面层；图案化所述第二界面层，所述第二界面层的图案化在所述第二器件区内限定第二栅叠层；以及在所述第一器件区的至少一部分上方形成第三界面层，所述第三界面层的形成在所述第一器件区内限定第三栅叠层，其中，所述第三界面层的组成成分不同于所述第一界面层和所述第二界面层中的每一个的组成成分，其中，所述第一栅叠层的高度、所述第二栅叠层的高度和所述第三栅叠层的高度相同。