[发明专利]基于斯特林发动机的节能循环型微纳光电子芯片散热装置

摘要

本发明针对高密度堆叠微纳光电子芯片集成组件的散热问题，运用斯特林发动机构建一个能量循环利用的物理装置，具体提供一种基于斯特林发动机的节能循环型微纳光电子芯片散热装置，包括芯片集成组件、风扇、散热器、液体容器、微泵、芯片冷却模块、微型斯特林发动机、支撑柱和微管。该装置利用液/风冷却，能够大幅度提高高密度堆叠微纳光电子芯片集成组件的散热效率，确保芯片集成组件正常工作的稳定性，利用芯片集成组件产生的热能，运用斯特林发动机转变成机械能驱动风扇和泵，达到散热的目的。本发明是一种节能环保，绿色高效，且具有良好的散热效果和较低的噪音的装置。

主权项

基于斯特林发动机的节能循环型微纳光电子芯片散热装置，包括芯片集成组件、风扇、散热器、液体容器、微泵、芯片冷却模块、微型斯特林发动机、支撑柱和微管，其特征在于，芯片集成组件由多层电子芯片组成，芯片冷却模块设在两层电子芯片的中间，芯片冷却模块上有一层粘合层，在粘合层上刻蚀微槽，将微管安装固定在槽内，微管的进口端和出口端设置在芯片集成组件外的支撑柱内，微管的进口端连接微泵，微泵与液体容器连接，散热器安装在芯片集成组件的侧面，散热器的一端与液体容器连通，另一端与微管的出口端连接；芯片集成组件的上方安装微型斯特林发动机，微型斯特林发动机的一端与风扇连接，另一端与微泵电路连接，同时为风扇和微泵提供电源；所述风扇设置在散热器旁。