[发明专利]一种对衍射孔的定位装置和定位方法有效
| 申请号： | 201310219983.3 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN103256889A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 徐富超;许嘉俊;邢廷文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法，定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种对衍射孔的定位装置，其特征在于：包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。
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