[发明专利]不透光的外壳组件和提供不透光的工作腔室的方法

摘要

外壳组件包括壳体和被布置在壳体内的平台。该平台可绕垂直轴线旋转运动。隔板被附接到平台且可随着平台运动，且包括第一横向边缘和第二横向边缘。该隔板的第一横向边缘和第二横向边缘从壳体的外壁间隔开以在其间限定间隙。密封机构可在密封位置和打开位置之间运动。该密封机构可运动入密封位置以密封在第一横向边缘和第二横向边缘之间的间隙，且阻止光穿过间隙。该密封机构可运动入打开位置以腾出间隙且允许平台和隔板绕垂直轴线相对于壳体的外壁旋转运动。

主权项

一种用于提供不透光工作腔室的外壳组件，所述外壳组件包括：壳体，该壳体具有外壁，所述外壁在下边缘和上边缘之间垂直地延伸，且限定内部，其中壳体限定被布置在壳体的光保护侧上的第一开口和被布置在壳体的光暴露侧上的第二开口；平台，至少部分地被布置在壳体的内部且可绕垂直轴线旋转运动，其中所述平台包括周边边缘，所述周边边缘限定垂直于垂直轴线的半圆形形状且具有居中于垂直轴线的半径；隔板，被附接到平台且可随着平台移动，且从平台垂直地延伸，其中所述隔板包括第一横向边缘，该第一横向边缘被布置在平台的周边边缘上的第一位置处，且隔板跨过平台延伸到被布置在平台的周边边缘上的第二位置处的第二横向边缘；其中第一横向边缘和第二横向边缘从壳体的外壁间隔开，以在其间限定间隙；及密封机构，被联接到隔板或外壁中的一个，且可在密封位置和打开位置之间移动；其中当平台静止时，所述密封机构可运动入密封位置，以密封在第一横向边缘和第二横向边缘之间的间隙，以阻止光穿过间隙从壳体的光暴露侧进入到壳体的光保护侧；及其中所述密封机构可运动入打开位置以腾出间隙，且允许平台和隔板绕垂直轴线相对于壳体的外壁旋转运动。