[发明专利]一种圆柱电容位移传感器及调理电路

摘要

本发明提供了一种圆柱电容位移传感器，采用三层圆筒的差动式结构，将活动圆筒移动的过程中，与内圆筒与外圆筒之间距离d偏移即圆心偏移Δd带来的测量误差消除，同时也消除了介质的介电常数的影响。由于是上下传感电容的差值反映位移，灵敏度得到了提高。

主权项

一种圆柱电容位移传感器，其特征在于，包括：水平对齐的半径为R1、R3的上金属内外圆筒S11、S12以及水平对齐的半径为R1、R3下金属内外圆筒S21、S22，上金属内外圆筒S11、S12以及下金属内外圆筒S21、S22的高度均为L，且分别垂直对齐即圆心在一条直线上；一半径为R2活动圆筒Sm，其金属部分高度为L+l，其中，l为上下金属内外圆筒之间的距离，活动圆筒Sm的金属部分置于上金属内外圆筒之间，其上端与上金属内外圆筒的上端对齐且可以在向下运动，直到下端与下金属内外圆筒的下端对齐；将上金属内外圆筒S11、S12电气上是连接在一起作为上传感电容C1的一个输出端，活动圆筒Sm作为上传感电容C1的另一个输出端，将下金属内外圆筒S21、S22电气上是连接在起作为下传感电容C2的一个输出端，活动圆筒Sm作为下传感电容C2的另一个输出端；检测上下传感电容C1、C2的差值与和的比值kp即： k p = C 1 - C 2 C 1 + C 2 根据活动圆筒Sm的位移x与比值kp的线性关系，将位移x检测出来。