[发明专利]炉管设备的FIMS装置有效
| 申请号： | 201310221369.0 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN103295946A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 佘广超;俞玮;万家俊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种炉管设备的FIMS装置，通过在FIMS装置中的通道板内侧上下两边设置传感设备，该传感设备包括发生器和接收器，通过该传感设备检测晶圆在机械手臂上是否有凸出，当有凸出时，由于接收器接受不到发射器发出的信号，从而使得机台报警，克服了现有技术中由于没法检测晶圆在机械手臂上是否有凸出，而造成晶圆碎片的问题，进而避免了晶圆碎片导致污染机台或者污染晶圆盒及晶圆盒内其他晶圆的问题的发生，提高了半导体器件的良率和生产效率，进一步的降低了半导体器件的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 设备 fims 装置 | ||
【主权项】：
一种炉管设备的FIMS装置，所述FIMS装置包括通道门和通道板，所述通道门设置于所述通道板上，其特征在于，所述FIMS装置还包括传感设备；所述传感设备包括发射器和接收器；其中，所述发射器和所述接收器均设置于所述通道板的内侧表面上，且该发射器和接收器分别位于所述通道门的上方和下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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