[发明专利]一种电子级化学试剂纯化装置

摘要

本发明公开了一种电子化学试剂纯化装置，包括物料储罐、去离子交换室、循环泵、I级连续电场去离子室、II级连续电场去离子室、高离子浓度试剂储罐、低离子浓度储罐、高纯化学试剂储罐；将所述物料储罐、所述循环泵、所述去离子交换室、所述I级连续电场去离子室、所述II级连续电场去离子室、所述高离子浓度试剂储罐、所述低离子浓度储罐、所述高纯化学试剂储罐按顺序连接。本发明为处理电子化学试剂中离子，处理后的化学试剂中的离子浓度小于1ppb，达到了EMI‑C8的要求。

主权项

一种用于丙二醇甲醚醋酸酯电子化学试剂纯化装置的纯化方法，其特征在于，所述纯化装置包括物料储罐、循环泵、去离子交换室、I级连续电场去离子室、II级连续电场去离子室、高离子浓度试剂储罐、低离子浓度储罐、高纯化学试剂储罐，并按其顺序连接；所述纯化方法包括：将待处理化学试剂通过管道进入物料储罐中，然后通过循环泵将含有金属离子的丙二醇甲醚醋酸酯化学试剂输送到去离子交换室，在去离子交换室中，通过安装在中间的离子交换膜的作用，低浓度离子的化学试剂进入一边的低离子浓度试剂室，高浓度离子的化学试剂进入另一边的高离子浓度试剂室，然后高浓度离子试剂和低离子浓度试剂分别进入高离子浓度试剂储罐和低离子浓度试剂储罐；用泵将低离子浓度试剂输送到II级连续电场去离子室中，通过连续电场的作用，试剂中的离子进一步被去除，使试剂中的离子浓度小于1ppb，纯化后的试剂进入高纯化学试剂储罐；另一方面，用泵将高离子浓度试剂输送到I级连续电场去离子室，试剂中的离子被大部分去除，浓度降低到10ppb左右，然后通过泵将该纯化后的试剂输送到物料储罐中，进行纯化过程的重复操作；其中，所述去离子交换室采用高效离子交换膜，经纯化的所述高离子浓度试剂储罐中的试剂离子浓度小于1ppb。