[发明专利]全铝型静电驱动微镜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310222500.5 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103336363A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;李新鹏 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全铝型静电驱动微镜，包括：微镜、支柱、下电极，其连接方式为：最上层为微镜，中间为支柱，下层为下电极，微镜与下电极通过支柱连接和支撑；微镜、支柱、下电极均采用全铝结构，微镜兼做反射镜和上电极，堆积层少。本发明结构、工艺简单，易于实现，成本低廉，完全静电驱动，可以实现连续角度偏转，应用广泛，方便推广；另外本发明的全铝镜面提高镜面反射面积效率，不但可以用于扫描，还可以用于显影与光通信。 | ||
| 搜索关键词： | 全铝型 静电 驱动 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种全铝型静电驱动微镜，其特征在于，包括微镜部、支柱和下电极，其中：最上层为微镜部，中间为支柱，下层为下电极，微镜部兼做反射镜与上电极，微镜部与下电极通过支柱连接和支撑，微镜部、下电极和支柱三层均为铝结构。
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