[发明专利]一种基于衍射光栅位移技术的滚转角测量装置及方法有效
| 申请号： | 201310222644.0 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103292744A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王昭;郭俊杰;汤善治;李朝辉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;陕西恒通智能机器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于衍射光栅位移技术的滚转角测量装置及方法，包括双频激光器、5%反射镜、偏振分光棱镜、衍射光栅以及第一、二反射器；上述衍射光栅被固定在被测对象上，作为敏感元件，第一、二反射器通过第一、二固定支架被固定以保证与所述衍射光栅相对静止；由衍射光栅和第一、二反射器构成一体的目标反射器；由双频激光器、5%反射镜、第一、二、三检偏器和第一、二、三光电接收器，偏振分光棱镜、第一、二、三50%反射镜和高反射光镜构成测量头。本发明基于激光外差干涉、衍射光栅位移技术和空间布局，不仅能够实现滚转角测量，且具有精度高、抗干扰能力强的特点，有利于实际应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 衍射 光栅 位移 技术 转角 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于衍射光栅位移技术的滚转角测量装置，其特征在于，包括双频激光器（1）、5%反射镜（2）、偏振分光棱镜（4）、衍射光栅（10）以及第一、二反射器（8、12）；在所述双频激光器（1）的光轴后设置5%反射镜（2），所述5%反射镜（2）的反射光轴上设有第一检偏器和第三光电接收器（15）；所述5%反射镜（2）的透射光轴上设有偏振分光棱镜（4）；所述的偏振分光棱镜（4）的透射光轴上且与该光轴垂直设置有衍射光栅（10）；所述衍射光栅（10）的±1级衍射光轴上分别设置有第一反射器（8）和第二反射器（12）；所述的偏振分光棱镜（4）的反射光轴上设有第一50%分光镜（5）；所述第一50%分光镜（5）的透射光轴与所述第一反射器（8）的出射光轴交点处设有第第二50%分光镜（6）；所述第一50%分光镜（5）的反射光轴上设有高反射光镜（7）；所述高反射光镜（7）的反射光轴与所述第二反射器（12）的出射光轴交点处设有第三50%分光镜（13）；所述第二50%分光镜（6）和第三50%分光镜（13）的光轴上分别设有第二、三检偏器和第一、二光电接收器（3、14）。
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