[发明专利]一种多晶链式多步制绒工艺

摘要

本发明提供一种多晶链式多步制绒工艺，所述工艺至少包括以下步骤：（1）第一步制绒：高浓度腐蚀；（2）第二步制绒：中浓度腐蚀；（3）第三步制绒：低浓度腐蚀；其中，所述每一步制绒所使用的制绒液均是硝酸、氢氟酸和水的混合溶液；每后一步骤所使用的制绒液中酸液浓度小于前一步骤制绒液中的酸液浓度。本发明的有益效果是：通过多步制绒方式实现硅表面损伤层的去除并制得小尺寸、低反射率绒面，从而有效提高电池短路电流，提升电池效率。此工艺在量产过程中，不需要引入新的化学品，不增加生产成本，通过原设备改造就能够实现稳定量产效果。

主权项

一种多晶链式多步制绒工艺，其特征在于，所述工艺至少包括以下步骤：（1）第一步制绒：高浓度腐蚀；（2）第二步制绒：中浓度腐蚀；（3）第三步制绒：低浓度腐蚀；其中，所述每一步制绒所使用的制绒液均是硝酸、氢氟酸和水的混合溶液；每后一步骤所使用的制绒液中酸液浓度小于前一步骤制绒液中的酸液浓度。