[发明专利]散焦量估计方法、成像装置和透明部件无效
| 申请号： | 201310224826.1 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103487928A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 江口辉;桧垣欣成 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G02B21/06;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了散焦量估计方法、成像装置和透明部件。一种用于成像装置的散焦量估计方法，成像装置使用图像传感器捕获由成像光学系统形成的试样的图像，散焦量估计方法包括：使用包括标记的透明部件来固定试样以取得包含试样的图像和标记的图像的捕获图像的捕获图像评估步骤，其中标记将相位变化和振幅变化中的至少一个施加到透射光；以及基于捕获图像对散焦量进行估计的估计步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 散焦 估计 方法 成像 装置 透明 部件 | ||
【主权项】：
一种用于成像装置的散焦量估计方法，所述成像装置使用图像传感器捕获由成像光学系统形成的试样的图像，所述散焦量估计方法包括：使用包括标记的透明部件来固定试样以取得包含试样的图像和标记的图像的捕获图像的捕获图像评估步骤，其中标记将相位变化和振幅变化中的至少一个施加到透射光；以及基于捕获图像对散焦量进行估计的估计步骤。
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