[发明专利]微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法

摘要

本发明涉及微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里‑珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。

主权项

一种具有孔径(160)的法布里‑珀罗干涉仪装置，所述孔径允许辐射透过，所述装置包括电可调法布里‑珀罗干涉仪，所述电可调法布里‑珀罗干涉仪具有：基板(100)，第一镜结构(101至105)，在所述基板的一个表面上，第二活动镜结构(111至115)，其中，所述第一镜结构和第二活动镜结构分别包括平行的第一镜和第二镜，法布里‑珀罗腔(150)，位于所述第一镜和第二镜之间，电极，用于电气控制所述第一镜和第二镜之间的距离，其特征在于所述装置在所述基板的另一表面上包括至少一个另外的镜结构(121至125,131至135)，用于在所述装置的所述孔径(160)内形成参考法布里‑珀罗干涉仪，用于补偿利用所述电可调法布里‑珀罗干涉仪进行的测量。