[发明专利]一种差动双区域共焦轴向测量装置有效
| 申请号： | 201310229370.8 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103278093A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;谭久彬;尹可 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种差动双区域共焦轴向测量装置属于三维共焦显微测量领域；该差动双区域共焦轴向测量装置包括设置在直射光路上的激光器，扩束准直镜，偏正分光棱镜、1/4玻片，探测物镜和样品，从激光器发射的激光束，经扩束准直镜扩束准直后，平行穿过偏正分光棱镜，再经过1/4玻片，由探测物镜会聚到样品上；还包括设置在反射光路上的差动双区域共焦探测光路，从样品反射的光束，再依次经过探测物镜、1/4玻片，由偏正分光棱镜反射，入射到差动双区域共焦探测光路；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，通过一次测量即可获得样品轴向位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 差动 区域 轴向 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种差动双区域共焦轴问测量装置，其特征为:包括设置在直射光路上的激光器(101)，扩束准直镜(102)，偏正分光棱镜(103)、1/4玻片(104)，探测物镜(105)和样品(106)，从激光器(101)发射的激光束，经扩束准直镜(102)扩束准直后，平行穿过偏正分光棱镜(103)，再经过1/4玻片(104)，由探测物镜(105)会聚到样品(106)上;还包括设置在反射光路上的差动双区域共焦探测光路，从样品(106)反射的光束，再依次经过探测物镜(105)、1/4玻片(104)，由偏正分光棱镜(103)反射，入射到差动双区域共焦探测光路。
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