[发明专利]一种等臂长外差式激光干涉测距系统有效
| 申请号： | 201310231028.1 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103307985A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李玉琼;靳刚;罗子人;刘河山;董玉辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 王艺 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等臂长外差式激光干涉测距系统，至少包括：隔振系统，用于将外界的低频率噪声进行隔离与过滤，消除系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测，对相位信息进行采集，并反演位移，反映干涉系统在各个频段上的测距精度。本发明可消除激光器频率不稳定性、各类噪声源对测距精度的影响，实现了长周期皮米量级的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外差 激光 干涉 测距 系统 | ||
【主权项】：
一种等臂长外差式激光干涉测距系统，其特征在于，至少包括：隔振系统，用于将外界的震动噪声进行隔离与过滤，降低系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测；对相位信息进行采集，并反演位移；反映干涉系统在各个频段上的测距精度。
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