[发明专利]使用角度固定的射束和旋转样品台的薄层生成方法和装置在审
| 申请号： | 201310231578.3 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103512781A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | A.B.威尔斯;N.W.帕克;C.D.钱德勒;M.W.乌特劳特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在衬底中生成基本上平坦的面的方法和系统，该方法包括：将一个或多个射束引导到衬底的第一表面处以从衬底中的第一位置移除材料，射束从第一表面的法线偏移非零垂落角；在垂直于第一表面的平面内扫动这一个或多个射束以在衬底中研磨出一个或多个初始切口，这些初始切口使基本上垂直于第一表面的第二表面暴露；使衬底围绕轴线旋转非零旋转角，该轴线不同于与第一射束正交或平行于第一射束的轴线；在不改变第一非零垂落角的情况下将第一射束引导到第二表面处，以从衬底中移除另外的材料；以及使这一个或多个射束在第二表面上按图案进行扫描，以在衬底中研磨出一个或多个最终切口。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 角度 固定 旋转 样品 薄层 生成 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在衬底中生成基本上平坦的面的方法，包括：将第一射束引导到衬底的第一表面处以从衬底中的第一位置移除材料，第一射束从第一表面的法线偏移第一非零垂落角；在垂直于第一表面的平面内扫动第一射束以在衬底中研磨出一个或多个初始切口，这些初始切口使基本上垂直于第一表面的第二表面暴露；使衬底围绕轴线旋转非零旋转角，该轴线不同于与第一射束正交或平行于第一射束的轴线；在不改变第一非零垂落角的情况下将第一射束引导到第二表面处，以从衬底中移除另外的材料；以及使第一射束在第二表面上按图案进行扫描，以在衬底中研磨出一个或多个最终切口。
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