[发明专利]金属栅极晶体管的形成方法

摘要

一种金属栅极晶体管的形成方法，包括提供衬底；在衬底正面上形成伪栅极；在衬底正面上形成第一层间介质层，进行平坦化直至露出伪栅极；去除伪栅极以形成沟槽；形成金属栅极叠层，覆盖第一层间介质层并填充沟槽，进行平坦化以在沟槽内形成金属栅极；形成金属栅极之后，对衬底正面进行边缘清洁处理，以使衬底侧壁至预定距离的环形区域上的金属栅极叠层被去除。由于增加了对衬底正面进行边缘清洁处理的步骤，使得衬底侧壁至预定距离的环形区域上的金属栅极叠层有被去除，且形成第二层间介质层之后，第二层间介质层能够牢靠地附着在衬底上，因此消除了第二层间介质层的边缘部分和金属栅极叠层剥离的问题，进而能够提高晶体管的性能。

主权项

一种金属栅极晶体管的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底正面上形成伪栅极，且衬底正面边缘凹陷；在所述衬底正面上形成第一层间介质层，对所述第一层间介质层进行平坦化直至露出所述伪栅极；去除所述伪栅极以形成沟槽；形成金属栅极叠层，覆盖所述第一层间介质层并填充所述沟槽，对所述金属栅极叠层进行平坦化以在所述沟槽内形成金属栅极；形成所述金属栅极之后，对所述衬底正面进行边缘清洁处理，以使所述衬底侧壁至预定距离的环形区域上的金属栅极叠层被去除；对所述衬底正面进行边缘清洁处理包括：形成光刻胶层，覆盖所述衬底正面和金属栅极；对所述光刻胶层进行洗边处理，以去除所述光刻胶层的边缘部分、并露出所述环形区域上的金属栅极叠层；以洗边处理后的所述光刻胶层为掩模，去除所述环形区域上的金属栅极叠层；去除所述环形区域上的金属栅极叠层之后，去除洗边处理后的所述光刻胶层。