[发明专利]用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物有效
| 申请号： | 201310238257.6 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN103512665A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | D·科科斯;M·德蓬;D·埃拉德;B·高茨曼;L·库尔;T·E·莫尔夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物。一种包括垂直天线的THz辐射检测器，该垂直天线被热隔离气隙从悬空平台分离，用于将THz辐射能集中到热传感器元件所位于的悬空MEMS平台。THz光子能经耦合电容器的极板之间的热隔离气隙转换为电能，该极板由确定空隙距离的多个纳米尖端间隔物分离。所述电容器将能量从天线耦合到热传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 结构 中的 精确 空隙 控制 隔离 纳米 尖端 间隔 | ||
【主权项】：
一种太赫兹（THz）检测器组件，包括：第一介电基板；在所述第一基板上制造的天线，所述天线包括第一电容极板部分；在所述天线上制造的多个纳米尖端间隔物；第二介电基板；在所述第二介电基板上构造的传感器，其包括第二电容极板部分，所述传感器操作为感测由所述天线阵列接收并经电容耦合传输到所述传感器的THz能量；以及其中，在其间形成电容耦合的所述第一电容极板部分和所述第二电容极板部分之间的分隔由所述多个纳米尖端间隔物产生，所述多个纳米尖端间隔物操作为在所述天线和所述传感器之间提供热隔离。
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