[发明专利]一种提拉镀膜的小型装置无效
| 申请号： | 201310239652.6 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN103276380A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 汪浩;郑慧娟;栗晓辰;孙玉绣;刘晶冰;严辉;朱满康 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C23C20/00 | 分类号： | C23C20/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种提拉镀膜的小型装置，属于镀膜装置技术领域。主要由镀膜容器、带有入口的镀膜容器盖、阀门、储液瓶、机械泵通过管道组成循环回路，储液瓶底部设有出水口，储液瓶底部的出水口经由机械泵通过带有入口的镀膜容器盖的入口与镀膜容器相连通，镀膜容器底部设有液体出口，镀膜容器的出口与储液瓶连接，在镀膜容器与储液瓶之间设有阀门。所述装置结构简单，运用液面自由下降的形式代替传统衬底上提、或者镀膜容器下降的形式，避免了机械振动，而且造价低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 小型 装置 | ||
【主权项】：
一种提拉镀膜的小型装置，其特征在于，主要由镀膜容器（1）、带有入口的镀膜容器盖（2）、阀门（3）、储液瓶（4）、机械泵（5）通过管道组成循环回路，储液瓶（4）底部设有出水口，储液瓶（4）底部的出水口经由机械泵（5）通过带有入口的镀膜容器盖（2）的入口与镀膜容器（1）相连通，镀膜容器底部设有液体出口，镀膜容器的出口与储液瓶（4）连接，在镀膜容器与储液瓶之间设有阀门（3）。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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