[发明专利]一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备

摘要

本发明公开了一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，外罩内部为沉积室，下平台设置在外罩底部中央，衬底设置在下平台上，喷雾燃烧装置设置在衬底上方，外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，抽气装置与抽气孔相连，抽气装置设置在外罩外，衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；外罩外设有移动速度控制装置；移动速度控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动速度。该设备制备出的薄膜质量好；厚度均匀性能够满足高精度的要求；能够在耐热程度较低的衬底上制备薄膜；还能够在衬底上喷涂形成图案。

主权项

一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，所述外罩内部为沉积室，所述下平台设置在外罩底部中央，所述衬底设置在下平台上，所述喷雾燃烧装置设置在衬底上方，所述外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，所述抽气装置与抽气孔相连，所述抽气装置设置在外罩外，其特征在于：所述衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；所述喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；所述外罩外设有控制装置；所述控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动方向和移动速度。