[发明专利]一种依赖电沉积曲线评价沉积膜质量的方法无效
| 申请号： | 201310240566.7 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN103424461A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 郝臣;白毅;张鹏飞;王晓红;赵玉涛;周鹏;恽悦;周瑞 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01N27/42 | 分类号： | G01N27/42 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种依赖电沉积曲线分析沉积膜质量的方法，具体包括如下步骤；首先配前驱体溶液作为电解液，采用传统的三电极体系，以导电玻璃为工作电极，铂电极为辅助电极，饱和甘汞电极为参比电极，在一定的沉积温度、沉积电位下进行电沉积，在一定的沉积时间下得到沉积膜的i-t曲线，依据电沉积曲线电流的变化判断沉积膜的质量。本发明方法操作简单，快速准确，极大的提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 依赖 沉积 曲线 评价 质量 方法 | ||
【主权项】：
一种依赖电沉积曲线评价沉积膜质量的方法，按照下述步骤进行：（1）清洗基片：取准备好的导电玻璃，将每20片1cm×4cm×1.5mm的导电玻璃置于100ml蒸馏水和2g去污粉配备的洗涤液中，浸泡1h，然后依次用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗，晾干备用；（2）配制浓度为0.01‑0.1 mol·L‑1电解液100mL，每片导电玻璃量取电解液5mL，采用三电极体系进行电化学沉积，以导电玻璃为工作电极，铂电极为辅助电极，饱和甘汞电极为参比电极，在一定的电位(如0.6V～1.0V、‑0.9V~‑1.7V、‑1.1V~‑1.5V、‑2.0V～‑1.1V)，室温下沉积300‑600s；（3）沉积结束后得到沉积膜的i‑t曲线，并根据电流变化情况进行分析。
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