[发明专利]高温压电元件电极制作方法及压电元件结构有效
| 申请号： | 201310240971.9 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103280523A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 聂泳忠;陈学军;林海 | 申请（专利权）人： | 厦门乃尔电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/293 | 分类号： | H01L41/293;H01L41/047 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温压电元件电极的制作方法，在成型的压电材料表面镀涂传统导电浆料，然后对该压电材料进行极化，之后再去除其表面镀涂的导电浆料涂层，并与外界电极引线连接，将其压电效应产生的信号输出。本发明公开的高温压电元件结构，包括极化的压电材料，所述极化的压电材料去除了表面的金属导电浆料涂层；所述极化的压电材料表面连接有电极引线，将其压电效应产生的信号输出。上述制作方法及结构，去除了传统的电极浆料涂层，避免在高温下由于电极材料的高温扩散导致压电元件输出电阻减小，改善了压电元件的热性能；增加金刚石或石墨涂层作为电极，提高了压电元件输出电荷的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 压电 元件 电极 制作方法 结构 | ||
【主权项】：
高温压电元件电极制作方法，其特征在于，包括如下步骤：a)根据规格要求将压电材料加工成型；b)在成型压电材料上下表面镀涂、溅射或蒸镀传统的导电浆料；c)对涂有导电浆料的压电材料进行极化；d)去除压电材料表面的导电浆料涂层；e)在压电材料表面连接电极引线，将其压电效应产生的信号输出。
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